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简介：

真空等离子喷涂设备

真空系统是专为生产高性能工业涂层而设计的喷涂系统。这些涂层包括涡轮叶片、陆基燃气轮机及航空发动机叶片等。 系统所使用的全部组件均能满足工业生产环境的要求，并适合多班工作制生产任务。 此真空等离子喷涂系统有以下部分组成：

 ● 等离子控制系统包括： 控制模块 、气体模块 、 转接箱模块 、 等离子喷枪 、 双筒送粉器 、 主电源

● 真空等离子系统包括： 主工作舱组件：含工艺操作舱、真空预过滤器、气体冷却器 、喷枪操作机械手：采用6轴工业机械手操作等离子喷枪，机械手安装在可移动平台上，以方便维护 、24工位工件夹持系统：单轴转台，由机械手控制，安装在可移动平台上，用于上下工件，便于装卸及维护 、真空系统 两级真空泵及真空管路汇流排（含过滤器、管道、阀等） ，冷却系统 冷水技及冷却水分配中心，及全部需冷却组件的连接管路 、 过滤系统干式过滤系统用于真空舱真空舱的可人工清洁 、 控制系统 用于真空过程控制的真空控制系统

供应真空等离子喷涂设备在医学界的应用

人工关节表面真空等离子喷涂Ti、HA涂层　

真空等离子设备喷涂

羟基磷灰石(Hydroxyapatite,HA)生物陶瓷材料具有优良的生物活性和生物相容性,但HA烧结后强度较低,且脆性较大,难以满足临床使用要求。近年来,利用材料表面处理技术将HA生物陶瓷材料涂覆在钛合金等金属基体的表面,形成HA生物陶瓷涂层材料。HA生物陶瓷涂层可以充分发挥生物陶瓷材料和钛合金材料各自的优势,克服各自的缺点,较好满足临床应用的需要

1.人工关节表面真空等离子弧喷涂Ti、HA涂层　　在Ti或其合金基材上沉积的等离子喷涂钛(Ti)、羟基磷灰石(HA)涂层已在临床上获得应用。等离子弧喷涂是一个高温过程，粉末在喷涂过程中会发生较为复杂的物理、化学变化。等离子弧喷涂HA涂层与其喷涂粉末相比，会发生结构和组成的改变，并导致涂层结晶度的降低。在高于500℃的环境中，Ti很容易与O2、H2、N2以及CO2反应。由于等离子弧射流温度极高(高达10000℃)，在大气中进行等离子弧喷涂时，Ti会与周围气氛发生反应。喷涂过程中产生的反应产物往往会降低涂层的延展性，并导致材料产生裂纹

2.真空等离子弧喷涂与大气等离子弧喷涂相比较，具有射流速度快、温度较低、喷涂室气氛可控等特点，所制备的涂层比较致密、含氧量低、成分与粉末较为接近。图1为真空等离子喷涂设备。采用真空等离子喷涂技术可以制备性能优良的Ti和HA涂层。

采用真空等离子喷涂技术可以制备性能优良的Ti和HA涂层。

图1真空等离子喷涂设备

3.在Ti-6Al-4V基体上采用真空和大气等离子弧喷涂制备了Ti、HA涂层，并将二者进行比较后发现，大气喷涂Ti涂层氧化比较严重，涂层中含有大量的TiO和TiO2。而在真空喷涂中，这种氧化得以避免。涂层的氧化影响了它与合金基体的结合，大气喷涂(APS)Ti涂层与基体间的结合强度约为37MPa，而真空喷涂(VPS)Ti涂层的结合强度可达60MPa。与原始粉末相比，等离子喷涂HA涂层含有一些非晶相和新相，如CaO和Ca3(PO4)2.非晶相的形成主要是由于在高温下熔化的颗粒被喷涂在基底上时激冷所致；而CaO和Ca3(PO4)2等新相则是源于喷涂过程中HA的分解。真空喷涂HA涂层的非晶相和新相明显减少，这主要是得益于VPS喷涂时较低的焰流温度结晶度测定结果显示，APS HA涂层的结晶度仅为42％，而VPS HA涂层的结晶度则超过60％，可满足临床植入对涂层结晶度的要求。真空等离子喷涂Ti-HA涂层人工髋关节实际部件见图2。已喷涂人工髋关节植入物约7000件。

图2用真空等离子喷涂钛 - 羟基磷灰石涂层人工髋关节

4.HA基复合涂层 .采用等离子弧喷涂技术，在Ti-6Al-4V合金基体上，制备了HA/Ti、HA/TiO2、HA/ZrO2，等复合涂层，能有效地改善涂层与基体之间的结合。

结合强度分析表明，在HA涂层中掺入金属或陶瓷等成分，涂层的结合情况可以得到改善。以HA/ZrO2复合涂层为例，掺入ωZrO2 =60％的复合涂层的结合强度比纯HA涂层高出约一倍。结合强度的提高，主要是因为掺杂物的加入缓和了涂层与基体之间的热膨胀系数失配，减少了因热膨胀系数失配导致的残余热应力在涂层与基体界面处的集中。另外，掺杂物小身的结合强度较高也是复合涂层结合强度提高的一个重要原因。